光刻机是一种高精度半导体芯片制造设备，其主要功能是将电路图案转移到芯片表面。在半导体产业中，光刻机的重要性不言而喻，因此，对于光刻机的专利问题也备受关注。首先，我们需要明确什么是专利。专利是为了发明人