光刻机专利壁垒　　光刻机是一种在微电子制造业中广泛使用的高级曝光设备。随着半导体制造工艺的不断发展，光刻机已成为现代半导体制造中不可或缺的一环。然而，光刻机的高技术含量和高成本使其处于一个重要的专利壁