中国光刻机专利之王——中国在集成电路领域的领先地位　　随着信息技术的不断发展，集成电路（IC）行业正在成为全球化领先行业。在IC行业中，光刻机是其中一个重要的基础设施。光刻机的主要功能是将电路图案转换