光刻机相关专利的探究与分析　　光刻机是半导体制造中不可或缺的关键设备，其在芯片制造的各个阶段都扮演着至关重要的角色。现代光刻机利用激光或电子束将模板上的图案投影到芯片表面，实现对芯片的微米级精度加工。