光刻机专利的国际分布情况　　光刻机作为集成电路制造中最重要的装备之一，其技术的关键在于掌握光刻技术，而光刻机的核心技术则在于光刻光亮学和制造精度。光刻机的重要性在制造业中得到了广泛认可，因此各国纷纷进