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光刻机有专利保护吗？　　随着全球科技的不断进步，光刻机作为集微电子、半导体、光学等众多科学领域技术于一身的高科技成果，得到了广泛的应用和推广。那么问题来了，光刻机是否存在专利保护？　　首先，我们需要

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