光刻机：专利保护的必要性　　光刻机是半导体行业中的重要设备，用于在晶片上制造细小的图案和线路。由于其在芯片制造中的重要作用，光刻机具有很高的研发成本和技术含量。因此，保护光刻机的相关技术和知识产权具有