中国光刻机专利的崛起　　近年来，中国光刻机技术取得了长足的进步，并且在全球光刻机领域的专利数量上也实现了突飞猛进的发展。这一趋势代表着中国光刻机专利的崛起，预示着未来中国在光刻机技术方面将有更大的发展