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PECVD（等离子体增强化学气相沉积）技术作为一种先进的薄膜沉积方法，在半导体、光电子、能源材料...

根据提供的内容，以下是关于钛合金文献中的创新专利突破的详细阐述：钛合金因其优异的性能在航空航天、...